Infinitesima、Metron3D増産のための戦略的投資を確保

Infinitesimaの革新的なMetron^3D 計測システムが、次世代半導体のインライン3Dプロセス制御を可能に

イギリス、アビンドン, Aug. 24, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima は、2022年第4四半期から始まる顧客への出荷に対応するために、Metron^3D 300mmインラインウェーハ計測システム増産のための投資ラウンドを完了いたしました。

Metron ^3D システムは、同社の実証済みのラピッド・プローブ・マイクロスコープ（RPM）テクノロジーと業界をリードするサプライヤーのモジュールを組み合わせて、最大のパフォーマンスと信頼性を実現します。このシステムは、高度な半導体プロセスにおける高解像度の3D計測へのニーズの高まりに対応するために、高スループットで完全に自動化されたインライン生産プロセス制御用に設計されています。

「当社独自の高速プローブ技術が、インライン3D計測に対する業界のニーズの高まりとともに、強力な顧客エンゲージメントをもたらしたことに胸の高まる思いです」と、InfinitesimaのCTO兼創設者であるAndrew Humphris教授は述べています。

今回の投資ラウンドを主導したのは、 Wonik Investment Partnersです。同社は韓国の大手グローバル企業であるWonikの子会社であり、半導体材料や機器を含む幅広い事業を運営する企業です。

Wonik Investment Partners代表のDong Su Kim氏は、次のように述べています。「弊社は、独自の3D計測技術と、次世代半導体のプロセス制御のますます困難な要件に対応できる経験豊富なチームを備えた、Infinitesimaの重要な成長機会について認識しています」

Infinitesimaの会長で ARC InterCapitalの創設者であるAndrew Dixon氏は、次のように述べています。「大手半導体メーカーにMetron^3D を導入するにあたり、Wonik Investment Partnersを共同投資家およびパートナーとして歓迎します」

Infinitesimaについて

Infinitesima Limitedは、英国を拠点とする半導体業界向けの高度な計測ソリューションのリーダーです。同社は、原子間力顕微鏡の3次元表面検出機能、高速レーザー活性化、干渉計の精度を組み合わせた、革新的なテクノロジーであるラピッド・プローブ・マイクロスコープ（RPM）を開発しており、これは広範な特許ポートフォリオによって保護されています。

同社のRPMテクノロジーは、主要な半導体装置メーカーによってモジュールとして統合されており、主要な半導体メーカーで使用されています。

半導体メーカーは、現在の光学および電子ビームテクノロジーでは対処できない次世代プロセスを制御するために、より高解像度の3D計測ソリューションをますます必要としています。Infinitesimaは、インライン・サブナノメートル* 3Dプロセス制御に対する顧客のニーズの高まりに対応するために、同社の特許取得済みのRPMテクノロジーを特徴とする高速計測システム「Metron^3D」を導入しました。

* 1ナノメートル（nm）は1メートルの10^-9乗 (1個のシリコン原子の直径は0.2nm未満）です。

この発表に関する写真はこちらで入手可能 https://www.globenewswire.com/NewsRoom/AttachmentNg/96b7871e-c1de-4cfd-83de-39232a38dc56

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