Infinitesima의 혁신적인 Metron3D계측 시스템, 차세대 반도체 생산 위한 인라인 3D 공정 제어 구현
영국 애빙던, Aug. 24, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima는 2022년 4분기부터 고객사 대상 출하를 지원하기 위해 Metron3D 300 mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템 생산을 확대를 위한 투자 라운드가 완료되었다고 밝혔다.
Metron3D 시스템은 업계를 선도하는 공급사들로부터 공급 받는 모듈과 함께 자사의 검증된 Rapid Probe Microscope (RPM) 기술을 탑재해 최대의 성능과 신뢰성을 제공한다. 이 시스템은 고급 반도체 공정에서 고해상도 3D 계측에 대한 필요성이 증가함에 따라 높은 처리량, 완전 자동화된 인라인 생산 공정 제어를 위해 설계되었다.
Infinitesima 창립자이자 CTO인 Andrew Humphris 교수는 "우리 회사가 갖춘 독자적인 고속 프로브 기술과 함께 인라인 3D 계측에 대한 증가하는 업계의 요구가 강력한 고객 참여를 이끌어 낸 것을 기쁘게 생각한다"고 밝혔다.
이번 투자 라운드는 반도체 소재와 장비 등의 분야에서 광범위한 사업을 영위하고 있는 한국 기업 Wonik의 자회사인 Wonik Investment Partners가 주도했다.
Wonik Investment Partners 사장인 Dong Su Kim은 "Infinitesima는 차세대 반도체 공정 제어 분야에서 증가하고 있는 까다로운 요구 조건에 대응할 수 있는 독자적인 3D 계측 기술과 경험 많은 팀을 보유하고 있어 상당한 수준의 성장 기회가 있을 것으로 판단한다"고 말했다.
ARC InterCapital 창립자이자 Infinitesima 회장인 Andrew Dixon은 "대표적 반도체 제조사들을 대상으로 Metron3D를 소개한 가운데 Wonik Investment Partners를 공동 투자자이자 파트너로 맞이하게 되어 기쁘게 생각한다"고 밝혔다.
Infinitesima 개요
Infinitesima Limited는 영국에 본사를 두고 있으며 반도체 업계용 첨단 계측 솔루션 분야 선두주자다. 자사는 원자 현미경의 3차원 표면 검출 기능과 고속 레이저 활성화, 간섭계 정확성, 광범위한 특허 포트폴리오를 통해 보호 받는 Rapid Probe Microscope (RPM) 등을 결합한 혁신 기술을 개척했다.
자사의 RPM 기술은 선도적인 반도체 장비업체들에 의해 모듈로 통합되었으며 주요 반도체 제조사에서 사용되고 있다.
반도체 제조사들은 기존의 광학 및 전자 빔 기술로는 해결할 수 없는 차세대 공정을 제어하기 위해 더 높은 해상도의 3D 계측 솔루션을 요구하고 있다. Infinitesima는 인라인 서브-나노미터* 3D 프로세스 제어에 대한 증가하는 고객사 니즈에 대응하기 위해 자사가 자체 개발한 RPM 기술을 탑재한 고속 계측 시스템인 Metron3D를 도입했다.
* 1나노미터(nm)는 10-9m다 (단일 실리콘 원자의 직경은 ~0.2nm다)
보도자료 관련 사진: https://www.globenewswire.com/NewsRoom/AttachmentNg/96b7871e-c1de-4cfd-83de-39232a38dc56
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